西安电子科技大学突破芯片界面散热技术瓶颈 射频器件功率密度提升超三成

问题——随着新一代信息技术和高端装备加速发展,高功率密度射频芯片对“更强输出、更小尺寸、更高可靠性”的需求持续攀升。

然而在以氮化镓为代表的第三代半导体,以及以氧化镓为代表的第四代半导体器件中,多材料异质集成不可避免,材料层间界面往往成为热量外导的“卡点”。

一旦热在界面处受阻,芯片内部温升加剧,进而引发性能衰减、寿命缩短乃至失效烧毁。

长期以来,界面散热效率不足被业内视为制约射频功率进一步提升的关键瓶颈之一。

原因——从材料生长机理看,传统异质集成常采用氮化铝作为中间过渡层(亦被称为“粘合层”或缓冲层),以改善不同材料间的匹配与结合。

但在既有工艺条件下,氮化铝层容易呈现多晶、岛状生长:微观上不连续、起伏大、缺陷多,热量跨界面传递时会遭遇显著散射与阻滞,形成所谓“热堵点”。

这类结构缺陷不是简单的“局部小问题”,而是决定界面热阻上限的系统性因素,也因此导致相关技术路线在较长时期内难以实现根本性跃迁。

影响——西电团队的进展在于对氮化铝层生长模式作出“源头改造”。

据介绍,研究团队开发“离子注入诱导成核”方法,将以往随机、非均匀的成核与生长过程,转变为可控、均匀的成核过程,使氮化铝由粗糙的多晶岛状结构转为原子排列更规整、界面更平整的单晶薄膜。

由此带来的直接效果是界面缺陷减少、热传导通道更连续,热量能够更高效地穿过界面导出。

实验结果显示,新结构的界面热阻降至传统结构的约三分之一。

更为重要的是,这一工艺改进具有共性意义:它瞄准的是异质界面普遍存在的热传输障碍,对第三代与第四代半导体的高质量集成均具有参考价值。

在器件层面,研究团队基于该氮化铝单晶薄膜技术制备氮化镓微波功率器件,在X波段与Ka波段实现42W/mm和20W/mm的输出功率密度。

据介绍,这一结果在国际同类器件指标上实现30%至40%的提升幅度,具有显著的工程应用指向。

对装备系统而言,在芯片面积不变条件下更高的功率密度意味着可用更小体积获得更强发射能力,为提升探测距离、改善系统性能留下空间;对通信基础设施而言,器件效率与热管理能力提升,有望支撑更远覆盖、更稳定链路与更优能耗表现;对公众端应用来说,随着射频前端能力增强与系统能效提升,偏远区域信号接收、终端续航等体验存在进一步改善的可能。

对策——从产业链角度看,破解界面“热堵点”不仅需要单点指标突破,更需要将实验室可验证的材料工艺转化为可复制、可放大的制造方案。

该研究的另一层价值在于,使氮化铝不再仅被视作特定材料体系的“过渡粘合层”,而被推进为具备适配性与可扩展性的“通用集成平台”之一,有望为多种半导体材料的高质量集成提供可借鉴路径。

下一步应围绕工艺窗口、稳定性一致性、与主流制造流程的兼容性、可靠性评估体系等关键环节,推动从样品到工程化的验证;同时加强产学研协同,在满足不同应用场景(高功率、高频段、高温环境等)要求的前提下形成可持续迭代的工艺与测试标准。

前景——面向5G/6G、卫星互联网、雷达探测等领域,高功率、高频、高可靠芯片仍将沿着“更高功率密度+更强散热能力”的方向演进。

研究团队提出进一步探索以金刚石等更高导热材料作为中间层的设想,若相关材料集成难题取得突破,器件功率处理能力存在数量级提升的潜力。

业内普遍认为,材料体系与界面工程将是未来较长时期内半导体技术竞争的重要前沿。

此次成果为我国在高端射频功率器件关键环节形成自主可控、可持续创新的技术积累提供了有力支撑,也为下一阶段面向更高频段、更严苛环境的器件设计预留了新的技术空间。

从"跟跑"到"领跑",中国科学家在芯片散热领域的突破,折射出基础研究对产业升级的关键支撑作用。

在全球半导体产业格局深刻调整的背景下,此类原创性技术突破将持续强化我国产业链韧性,为数字经济高质量发展注入新动能。

正如科研人员所言,对材料极限的每一次突破,都是通向技术自主可控的重要里程碑。