青岛企业攻克半导体密封圈关键技术 国产替代提速

问题:小部件撑起大产业 半导体制造对洁净度要求极高。密封圈、垫片等高分子密封件体积虽小,却直接关系到设备腔体的密闭性和工艺稳定性。在刻蚀、CVD/PVD等工序中,密封件需要承受300℃以上的高温、强腐蚀性等离子体气体和反复热循环。一旦密封性能下降,微米级颗粒和离子析出就可能导致良率波动,甚至晶圆报废。产业链对高可靠密封件的稳定供应需求越来越迫切。市场研究机构QYResearch数据显示,全球半导体级O形圈和密封件市场销售额预计从2025年的5.83亿美元增长到2032年的8.10亿美元。

密封圈虽小,却含有产业链自主可控的重任;尼可高分子的探索表明,通过材料创新、智能制造和完整的供应链体系,国内企业完全可以在高端领域实现突破。这不仅是一家企业的成长故事,更是我国半导体产业补链、强链的真实写照。随着越来越多的企业在关键领域取得突破,中国半导体产业的自主可控能力正在不断提升,为产业高质量发展奠定坚实基础。