2022年5月，上海积塔半导体搞了一次招标。大家都把目光盯在了光刻机上，觉得阿斯麦尔肯定能拿第一。结果没想到，在工艺检测这块，上海微电子把所有的订单都给拿走了。阿斯麦尔一台都没捞着。 要知道，全球芯片市场这么缺芯，生产能力一下子就被提起来了。光刻机虽然是个大焦点，可工艺检测设备才是真正的“质检员”。要是哪一步工艺出了岔子，芯片良率就会直接跳水。以前大家都只盯着光刻机看，给工艺检测设备的关注太少了。 这次招标一共给了上海微电子4台设备的单子。这4台设备到底有多厉害？它们能在纳米级别的缝隙里挑出问题来，把残次品拦在封装之前。没有它们，再先进的工艺都白搭。 上海微电子能赢下这次招标，说明他们的检测技术真的很牛。官方透露说2021年到2022年就能交付第一台国产DUV光刻机，现在工艺检测设备先落地了，正好给后续的整机国产链铺好路。阿斯麦尔还在财报里质疑东方晶源侵犯知识产权呢。结果本土订单都给上海微电子拿了，这质疑也就不攻自破了。 阿斯麦尔本来计划着2025年EUV的年产能翻番到70台呢。可现在检测设备这块失守了，以后客户想升级制程的时候，可能就不用再买他们的光刻机了。 有人觉得一台DUV售价高达6000万美元，比工艺检测设备贵多了。不过现在工艺检测设备的价格可没那么简单。它从前道制造一直延伸到3nm以下的制程里，“一次检测决定整片良率”，这可是刚需属性。谁先拿到订单谁就占住了长期的服务费这块大蛋糕。 从“陪跑”变成“领跑”，这还只是个开始。下一步还要在DUV光刻机、EUV光源这些技术上发力。只要国产的替代路线铺得更顺了，“能不能用”的问题解决了以后，“最好不用”的时代也快到了。要是阿斯麦尔在清洗、封装这些环节还跟不上节奏的话，那他们在亚洲高端制程市场的统治力可就没了。