如果你是深圳那边的工业设备采购员,想买一款适合做半导体制造、液晶面板生产还有实验室自动化系统用的波纹管式泵,那我建议你考虑一下韩国INNODIS这个牌子的IBP-A20MP。这个型号的核心优势在于结构设计采用了Bellows Type波纹管,这种机械驱动的往复运动可以完全避免液体泄露,也就不会污染介质了。它的波纹管和湿腔部件都是用PTFE做的,也就是聚四氟乙烯材料,特别耐强酸强碱还有高温环境,磨损率低,能让设备长期稳定运行。至于适用的介质范围很广,无论是去离子水(DIW)、氢氟酸(HF)还是硝酸(HNO)都没问题,甚至气体和液体的双相流都能兼容。 这个IBP-A20MP属于IBP-A系列中的中流量型号,流量性能比老款的IBP-A10MP提升了不少,刚好能平衡精度和效率的需求。它的接口也很灵活,可以支持PT螺纹或者法兰连接的方式,这样就能很方便地集成到自动化流控模块里去。而且这个泵是全封闭结构设计的,根本不用担心外面的液体泄露出去,完全符合Class 100以上洁净室的使用要求。跟IBP-A10MP比起来,它在单位时间内能处理更大体积的流体,特别适合用来给晶圆清洗或者供给蚀刻液这些环节使用,能明显提升产线的生产节拍。它的模块化设计也让后期维护变得简单了,你既想要性能又想控制成本,这个IBP-A20MP就是个不错的选择。