中微精仪在2024年11月成立，由陈景煜和孙洪波等人带领清华大学、北京理工大学还有吉林大学的博士团队共同创建。其中，陈景煜曾在澳大利亚新南威尔士大学做研究员，长期致力于特种芯片集成开发。孙洪波更是中国科学院院士、清华大学教授，也是“非线性激光超精密制造”领域的先驱。 他们把脉冲可编程技术给用起来了，先把激光聚焦到晶锭内部改质晶格键，再引导裂纹定向延伸，从而大幅降低切割损耗。公司专注于碳化硅晶锭激光剥离、金刚石激光剥离以及水导激光精密加工这些高端工业激光装备的研发制造。 到了2024年3月26日，中微精仪拿到了数千万元天使轮融资，是东方富海独家投的钱。华君资本还作为长期独家战略财务顾问参与其中。这笔钱主要用来研发和建团队。 东方富海说，现在全球SiC衬底产业正处于高速扩产的周期里，大家都在往8寸发展。传统切割方式太慢太损材料了，下游客户急需更好的技术解决这个问题。目前能造出高精尖激光装备的公司太少了，产能根本不够用。而中微精仪正好有国际化的团队和顶尖的技术能力。他们不仅在设备核心的光路调控技术上有自主可控的本事，从机理探索到系统设计都能自己搞定。 他们用这种新型的超快冷激光切割技术能把SiC衬底切得又快又好。这次融资给他们的发展带来了很大的底气。