你给我说说你们深圳那边工业设备采购时的技术选型需求吧。这次要介绍的是韩国INNODIS一思迪诺的几款波纹管式泵。IBP-A55MPH、IBP-A20MP、IBP-A10MP、IBP-A55MP这几款产品其实都属于IBP-A系列。这个系列主要是给半导体制造、液晶面板生产还有实验室自动化系统设计的,专门处理高纯度流体控制的任务。要不是为了提高产线节拍,他们也不会专门推出这种适合中等规模输送的型号。 这次你要是在中等规模的流体输送任务上遇到了问题,尤其是对化学品纯度和设备洁净度要求特别高的场合,IBP-A20MP是个不错的选择。它在流量能力还有系统适配性上比上一代产品要好多了。这种泵的结构用的是Bellows型波纹管式,通过机械驱动实现无泄漏往复运动,完全避免了介质污染的风险。关键部件像波纹管还有湿腔部分用的都是聚四氟乙烯(PTFE),这种材料特别耐强酸、强碱和高温环境,能显著降低磨损率。 DIW(去离子水)、HF还有HNO₃这类高纯化学品都可以用它来处理,而且它还兼容气体和液体双相流。流量方面属于中流量型号,介于IBP-A10MP和IBP-A55MP之间。连接标准方面支持PT螺纹或者法兰接口,方便集成到自动化流控模块里。全封闭的设计杜绝了外漏风险,Class 100以上的洁净室用起来一点问题都没有。 相比IBP-A10MP来说,IBP-A20MP在单位时间内处理的流体体积要大很多,适合用来做晶圆清洗或者蚀刻液供给这些工作。这种模块化设计也能降低后期维护的成本,完全符合你们那种在成本和性能之间找平衡的选型目标。