吴德馨老师走了，这位中国科学院的院士、微电子领域的科学家给咱们留下了太多回忆。澎湃新闻那边传来消息，她是2026年3月23日那天在北京走的，享年90岁。虽然这日子很不好过，但这确实是大家都要面对的事实。1936年她出生在河北乐亭，1961年从清华大学无线电电子工程系毕业以后就一直在中科院微电子所搞研究。她是那儿的研究员，也是原来的微电子中心主任。后来她还当选为全国人大常委会委员。 回顾她的成就，最让人忘不了的是她做了好多国内第一。20世纪60年代初她带头把硅平面型高速开关晶体管给搞出来了，她提出的那个提高速度的法子后来被全国都用开了。紧接着在60年代末她又成功拿下了介质隔离数字集成电路和高阻抗运算放大器模拟电路。 到了70年代末她的成绩更是一个接一个。她在国内首批发掘出MOS4K位动态随机存储器。那会儿她还把正性胶光刻和干法刻蚀这些新技术给用到了大规模集成电路的研制里，专门研究怎么提高成品率。靠这一手她直接给当时落后的LSI局面捅了个窟窿。接着她就顺理成章地把16K位和64K位的动态随机存储器也都做出来了。 至于80年代末嘛，吴老师更是自己开发出了3微米CMOSLSI的全套工艺技术，专门用来造专用电路。与此同时她还把VDMOS系列功率场效应器件和砷化镓异质结高电子迁移率晶体管都研究成功了。等到了90年代她更上一层楼，拿下了0.8微米CMOSLSI工艺技术和0.1微米T型栅GaAsPHEMT器件。 虽然这一路走得太急太急，但吴老师为咱们微电子产业打下的基础真的太扎实了。现在咱们能用上这么方便的手机、电脑，背后都有她的一份功劳。大家伙儿真的很想念她。