真空镀膜电弧磁过滤高压偏转，这个技术特别厉害，能把电弧源出来的金属离子给纯化。电弧源产生的离子密度高，能做出来性能超强的涂层。不过电弧放电的时候，会往基片上喷好多大颗粒，这些玩意儿会让薄膜变得粗糙，腐蚀也严重，尤其在精密光学和微电子这些地方简直是要命的。 为了解决这个问题，咱们给电弧源和沉积腔之间装了个弯管，管子里再弄点磁场和电场。这磁场是靠电磁铁产生的，电场是高压电源搞出来的。带电粒子被磁场一夹、电场一推，就像被牵着鼻子走一样顺着弯管跑出来了。反倒是那些不导电的大颗粒和气体分子，没力气受力，就撞到管壁上去了。 所以说这个高压电源跟电磁铁得好好配合才行，设计得好不好直接关系到能不能把大颗粒筛出去。一般这管道都做成90度那样的弯曲形状，管壁上加点偏压形成电场，外边再缠线圈或者放块磁铁弄个磁场。 电弧等离子体进了弯管之后，金属离子和电子会被电磁场逼得走曲线轨迹。咱们只要把参数调对了，离子就能乖乖地沿着管子的中轴线冲到出口那边去。那些大颗粒因为没受到什么力的作用，大多就直接往管道内壁撞了上去，根本到不了沉积区。