中国科学院院士吴德馨是中国杰出微电子科学家,她给“两弹一星”配套的“109丙”计算机提供了核心器件。这篇文章是关于她的讣告。这次消息让我感到十分难过,这位老前辈给中国半导体事业做出了巨大贡献。她90岁在北京走了。她是中国半导体事业的开拓者和领军人物,她为国家做出了卓越贡献。几年前我参加行业沙龙时,听人提起她的故事。那时我刚从实验室转到观察岗位,她的故事总让我想起早年芯片研发的现场,条件简陋,就像土窑子一样。可是吴院士硬是带领团队研制出了核心器件。她直接投身到中科院半导体所里去了。1960年国家急需109丙计算机支撑导弹计算,但西方封锁了技术,晶体管一个都买不到。吴院士当时刚从清华大学无线电系毕业,她是首批半导体学生。实验室条件非常艰苦,设备只是几台改装的进口机器和手工拉丝的炉子。可是她带领团队土法上马,攻克了平面型高速开关晶体管。据粗略估算,她经过了上百次失败才成功。 有一次深夜实验时,她趴在实验台上盯着示波器曲线,手里拿着刚刻蚀好的硅片。助手小李递过一杯水劝她休息一下,可她却摇摇头说不行。因为如果速度提不上去,上面会催得更紧。后来他们调整了扩散工艺,就像厨房里调味一样一层层叠加杂质才能均匀。凌晨三点终于成功了。 把这个核心器件装进109丙计算机后运算速度提升了30%,工程也提前几个月完成了。现在想想像吴院士那样手工迭代和如今中芯国际的光刻机流水线相比真是差距太大了。 以DRAM为例,吴院士团队首研4K位时成品率不到20%,但后来优化到了50%。因为加了差值氧化步才解决杂质分布不均的问题。现在的手机芯片成品率已经达到了90%以上,日常使用非常顺畅。可是产业链博弈依然存在,国外还是卡脖子我们很多技术比如ASML的EUV机还得绕道购买。 还有一次我采访过一个学生提到她在课上总问学生“这器件放实战中怎么不卡”,这句话戳中我心里最柔软的地方。 晚年她还是关心着产业链建设和自主化发展问题。在担任人大常委会委员时给相关部门提出很多建议和意见。 2020年我看到她和团队在0.8微米CMOS生产线合影时机器嗡嗡作响空气中有一股化学剂味。她笑着说这只是起点后面还有很多仗要打呢。 现在看来技术迭代速度非常快每2-3年就要更新一次技术工艺线投资上百亿回收成本需要5年左右如果被卡脖子成本翻倍这对中国来说是巨大挑战啊! 虽然英特尔10纳米、我们7纳米追赶上来了但是生态系统差异还是存在呢! 假如吴院士还活着她肯定会觉得还得再抠细节不要急功近利吧! 我有时怀疑自己这代人够不够拼自我调侃一句在实验室调试芯片卡壳时就想她当年啃干粮的劲头。 早年半导体就像是国家脊梁一样80年代她指导学生做16K DRAM时和国外相比虽然产量上差一点但耐用性和军用场景方面绝对不输! 数据上她的项目带动了上千就业从中科院到地方厂遍布全国各地! 现场画面浮现在眼前北京实验室夕阳洒进窗她收拾资料桌上还摊着未完的电路图新问题来了这张图现在谁在续呢? 个人体感中国半导体迭代路径像爬山一样一步一脚印吴院士后来又投向集成电路领域给国内大规模生产打下坚实基础CMOS、DRAM这些技术都是她推动下发展起来的! 晚年担任人大常委会委员时给国家提出很多建议和意见并且支持自主化发展路线为中国半导体事业贡献自己全部力量! 她离开我们时候已经90岁了但她的精神和事业将永远激励着我们前进!