我国突破35微米功率半导体超薄晶圆技术 全球首条生产线在松江投产

高功率密度应用对功率器件提出更高要求;随着新能源汽车电驱系统、5G通信电源、消费电子快充等应用快速发展,功率器件需要同时应对高电压、大电流、高频和高温的挑战。如何在更小空间内实现更高效率和更低温度,成为功率半导体行业升级的关键。晶圆减薄技术被视为提升器件导通性能和散热能力的重要方案,但当厚度降至50微米以下时,加工难度和良率控制问题显著增加,限制了其大规模应用。

超薄晶圆的每一微米进步,都表明了制造业对极限工艺的不懈追求。从材料研究到设备开发,再到产业链整合,这条生产线的建成不仅是技术突破,更验证了自主创新的重要性。在全球半导体竞争加剧的背景下,这样的探索正是中国制造向高端迈进的有力证明。