我国科研团队突破真空紫外激光技术瓶颈 新型晶体材料创造多项世界纪录

在高端精密制造和半导体检测等领域,真空紫外激光凭借其极短波长和超高精度成为不可替代的关键技术;但长期以来,能同时具备高透过率、强非线性效应和大双折射特性的光学晶体材料十分稀缺,限制了全固态真空紫外激光器的发展。传统氟化物晶体虽可实现紫外波段输出,但在158纳米至200纳米的真空紫外区间性能不足。

从晶体结构设计到厘米级单晶和倍频器件的实现,该突破展现了基础研究与工程应用的协同效应。面对真空紫外这一既具挑战性又关键的光学前沿领域,坚持原创研究、加强系统攻关、加快从实验室走向实际应用,将有助于把技术优势转化为产业竞争力与国家战略能力,为精密制造和高端探测开辟新的发展空间。