1997年,一场关键的科技较量在美国英特尔、IBM、摩托罗拉和美国能源部等机构联手展开。他们组建了EUV LLC联盟,试图给人类科技命脉找出最合适的操盘手。当时日本尼康在半导体领域风头正劲,技术实力雄厚,原本是最理想的人选。可美国一纸禁令,直接把尼康排除在外。原因很简单,日本半导体曾让美国感到压力山大,这核心技术绝不能再交给对手。就在这时,荷兰小弟ASML站了出来,表示愿意在美国开厂,七成零件从美国买,还随时接受政治审查。美国一看这方案靠谱,当即拍板定下来就是它了。这场比赛里尼康输得惨,因为它舍不得旧设备的沉没成本,坚持死磕老路线,结果错失了机会。而ASML则押注新兴的浸润式技术,仅用了一年时间就把样机跑通,抢下了IBM和台积电的订单。这一仗让尼康彻底掉队。EUV光刻机制造起来极不容易。这台被称为“工业至尊”的设备重达180吨,内部集成了10万个零部件。有人算过一笔账:如果把设计图平铺成书,长度足以绕地球两圈;如果把它拆成零件,全球物流网可能会瘫痪一周。设计图虽然重要,但真正的壁垒不在图纸上,而在于复杂的供应链和工程极限。制造EUV光刻机必须用到13.5纳米极紫外光。这种光极其敏感,有一点点杂质就会消失不见,所以设备内部必须保持绝对真空。为了捕获这束光,ASML的工程师想出了一个狠招:用20千瓦激光每秒轰击直径20微米的液态锡珠5万次。 这束光还不够稳定,还需要德国蔡司提供高精度的反射镜来配合使用。这些镜片的平整度误差不能超过一根头发丝的宽度。 除了光源和镜片外,EUV光刻机还有很多其他关键部件来自不同的国家和地区:光源由美国Cymer提供;镜头来自德国蔡司;材料则由日本TokinASML提供。ASML只掌握了其中一成的核心技术。 要想维持这一整套供应链的正常运转并不容易。西方已经用半个世纪的时间积累了家底才造出EUV光刻机。 如今能制造氢弹的势力只剩下五家。而能摸到EUV门槛的则只有ASML这一家独大。 就算ASML现在“撂挑子”,把全部图纸摊在桌上短时间内也没人能复刻成功。 这次封锁反而成为了反向催化剂,刺激了中国企业在这个领域奋起直追。中国企业开始一个据点一个据点地攻克难关:科益虹源死磕光源技术;长春光机所死磕镜头技术;国内企业玩命追赶甚至连示波器这种角落环节也被国产货捅破了欧美垄断。 虽然目前中国还处于28纳米或者更落后的水平上摇摆不定,“小跟班”在EUV面前显得微不足道。 但是原子弹也是从无到有造出来的。只要还归物理定律管,就不存在什么“不可战胜”的敌人。